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SSB300系列步進光刻機品牌
上海微電子產地
上海樣本
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產品特征
高產率
SSB320和SSB380機型可提供53.5mm×33mm超大曝光視場，并配置了高速傳輸系統(tǒng),、高速高精度運動臺系統(tǒng)和高照度照明系統(tǒng),，實現高產率，顯著降低客戶擁有成本,。
高分辨率
SSB300系列光刻機提供多種投影物鏡配置,，分辨率可達到0.8~2μm，并具有大焦深和高線寬均勻性等特點,，在大規(guī)模量產中有效提升產品良率,。
高精度套刻
SSB300系列光刻機擁有高精度MVS對準系統(tǒng),、高精度工件臺定位系統(tǒng)和低畸變投影物鏡，保證了高精度套刻性能,。其中對準系統(tǒng)支持特征圖形標記和光柵標記,，并可選配紅外或可見光背面對準方式，滿足客制化需求,。
工藝適應性強
采用獨特的在線Mapping技術,，快速準確地擬合出基底面型，可有效增大工藝窗口,。提供選配可變狹縫,，可實現一塊掩模分為多個區(qū)域曝光，降低工藝研發(fā)費用,，且與Aligner匹配時不增加額外芯片損失,。
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