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產(chǎn)品性能：
*工作溫度：200～1200℃/2200℃
*結(jié)構(gòu)方式：水平/垂直,，片數(shù)：1/3/6/多片（科研/生產(chǎn)型）
*多溫區(qū)，動(dòng)態(tài)高精度生長條件控制
*低壓,、常壓,、微正壓工藝方式，襯底片升降、旋轉(zhuǎn)（厚膜/晶體生長）
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