非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
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產(chǎn)品性能：
*垂直結(jié)構(gòu)，5～50片/批
*穩(wěn)定優(yōu)良的成膜均勻性，重復性好
*微環(huán)境低氧控制先進技術(shù)
*硅片顆粒度控制穩(wěn)定,，國際標準
*多工藝選擇，模塊化,，操作便利
*全自動流程,，盒對盒，AGV對接
*高集成度,，符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標準
配套工藝：
*氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL）,，氮、氫退火,，合金,、固化，快速熱退火
*多晶硅P-Si,，氮化硅Si3N4,，氧化硅SiO2，磷硅玻璃PSG,，硼磷硅玻璃BPSG
*TEOS,，LTO，HTO,，SIPOS...
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