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水平LPCVD是高質(zhì)量大批量大尺寸石墨烯CVD法生長專用設(shè)備,，多種工藝氣體,、生長壓力、工藝溫度,、工藝過程計(jì)算機(jī)全自動控制,。該設(shè)備亦可其他大襯底LPCVD法成膜沉積工藝
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