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等離子體熱處理爐為德國(guó)生產(chǎn),，具有等離子清洗、表面處理,、材料表面修飾,、材料熱處理的功能。
儀器特點(diǎn)及基本參數(shù)：
具有等離子體清洗,、表面修飾,、表面處理、表面活化的功能,；
具有真空能力(10-5mbar),；
芯片倒裝凸點(diǎn)(Bump)；
凸點(diǎn)焊接,；
鍵合,；
功率器件焊接；
樣品尺寸：170X200mm,，或300x300mm,；
溫度：650攝氏度；
24支紅外燈加熱,；
2路MFC氣路,；
暫無數(shù)據(jù)！
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