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全自動(dòng)原子力顯微鏡實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的硬盤(pán)磁頭滑塊測(cè)量，讓偉大變得簡(jiǎn)單

Park Systems的PTR系列是全自動(dòng)工業(yè)級(jí)線上原子力顯微鏡解決方案,，適用于（不限于）長(zhǎng)形條,、磁頭萬(wàn)向節(jié)組件(HGA)級(jí)滑塊以及單獨(dú)滑塊的極尖沉降自動(dòng)測(cè)量。憑借著亞納米級(jí)精確度,、高重復(fù)精度以及高通量,，PTR系列是滑塊廠商提高整體產(chǎn)量的理想測(cè)量工具。

自動(dòng)化,、快速,、精確且可重復(fù)的極尖沉降測(cè)量

硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)滑塊制造業(yè)要求工具不僅可以快速且流暢地測(cè)量極尖沉降，同時(shí)保證**標(biāo)準(zhǔn)的精確度,。這便是Park NX-PTR大展身手的領(lǐng)域,。在超精確的極尖沉降測(cè)量之外，自動(dòng)化功能可極大程度提高效率,。這讓NX-PTR成為硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器滑塊廠商的**選擇,，兼顧**的質(zhì)量和**的產(chǎn)量。

高通量,，無(wú)需多次參考掃描

大多數(shù)原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準(zhǔn)確測(cè)量極尖沉降,，首先是大區(qū)域參考掃描，隨后小區(qū)域高分辨率掃描,。多次掃描占用大量時(shí)間,，且限制了通量的提高。我們的掃描系統(tǒng)帶來(lái)真正的平面掃描,，有效地降低掃描次數(shù),。此外，True Non-Contact™模式讓探針保持鋒利,，在延長(zhǎng)使用壽命的同時(shí),，提供更持久的高分辨率成像效果。相應(yīng)地,，Park NX-PTR能夠生成感興趣區(qū)域的詳細(xì)準(zhǔn)確圖像,，而無(wú)需進(jìn)行參考掃描,，以便修正掃描器偽影。

* 應(yīng)用

自動(dòng)硬盤(pán)滑塊測(cè)量

隨著硬盤(pán)滑塊的尺寸越來(lái)越小,，復(fù)雜性越來(lái)越高,，提高產(chǎn)量的關(guān)鍵在于實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精確度。

Park NX-PTR恰恰具備這樣的精確且自動(dòng)的硬盤(pán)滑塊測(cè)量,。

自動(dòng)極尖沉降測(cè)量與分析

借助NX-PTR系統(tǒng),，極尖沉降測(cè)量可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)，帶來(lái)更高的通量,，無(wú)論是對(duì)于載體,、長(zhǎng)形條，還是滑塊,。

Park Systems的工業(yè)級(jí)院里子顯微鏡精確且穩(wěn)定的全自動(dòng)化極尖沉降(PTR)測(cè)量成為可能,。

極尖沉降量的監(jiān)測(cè)要求測(cè)量精度達(dá)到0.1 mm，這意味著離測(cè)量表面只有20 μm遠(yuǎn),。

自動(dòng)墻角測(cè)量與分析

實(shí)現(xiàn)各類(lèi)墻角的自動(dòng)測(cè)量與分析,。

自動(dòng)缺陷測(cè)量與分析

實(shí)現(xiàn)各類(lèi)缺陷的全自動(dòng)測(cè)量與分析，如表面尖角,。

*　Park NX-PTR的特點(diǎn)

低噪聲XYZ軸位置傳感器,，帶來(lái)更精確的掃描效果

NX-PTR擯棄了常見(jiàn)的非線性Z軸電壓信號(hào)，而是采用超低噪聲Z軸探測(cè)器,，從而帶來(lái)****的形貌高度精度,。憑借著行業(yè)**的低噪聲Z軸探測(cè)器,，正向掃描和反向掃描間隙得以降到掃描范圍的0.15%以?xún)?nèi)，甚至可以忽略不計(jì)，而這時(shí)Z軸形貌信號(hào)所無(wú)法企及的,。

熱漂移和滯后極小,，大大降低探針漂移

NX-PTR具備極為突出的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性,，從而大大降低熱漂移,，實(shí)現(xiàn)更為精確的測(cè)量。一般情況下,，橫向熱漂移率低于100 nm/°C,，而垂直熱漂移率則低于200 nm/°C。

測(cè)量控制自動(dòng)化,，釋放您的雙手

NX-PTR配有自動(dòng)化軟件,，操作起來(lái)輕而易舉。您只需要選擇想要的測(cè)量程序,，并設(shè)定相應(yīng)的懸臂調(diào)諧,、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù),，便可取得多位置分析,。此外,，Park的用戶(hù)友好型界面讓您能夠隨意創(chuàng)建自定義作業(yè)程序，以便您完全發(fā)揮NX-PTR的實(shí)力,，滿(mǎn)足所有的測(cè)量需求,。創(chuàng)建新的作業(yè)程序極為簡(jiǎn)單。創(chuàng)建新測(cè)量文件只需要10分鐘左右的時(shí)間,，而修改現(xiàn)有的測(cè)量文件則不超過(guò)5分鐘的時(shí)間。

Park NX-PTR的自動(dòng)化系統(tǒng)具備：

·自動(dòng),、半自動(dòng)和手動(dòng)模式,，讓您掌控全局

·各自動(dòng)程序的可編輯測(cè)量方法

·測(cè)量過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

·自動(dòng)分析所獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)

　＊　選項(xiàng)

自動(dòng)探針更換（選配）

Park推出的自動(dòng)探針更換系統(tǒng)讓您的自動(dòng)測(cè)量程序可以無(wú)縫續(xù)航,。該系統(tǒng)會(huì)根據(jù)參考圖形測(cè)量數(shù)據(jù),，自動(dòng)校正懸臂的位置和優(yōu)化測(cè)量設(shè)定。創(chuàng)新的磁性探針更換成功率高達(dá)99%,，讓您無(wú)需分心監(jiān)督探針更換,！

自動(dòng)激光準(zhǔn)直（選配）

Park的自動(dòng)激光準(zhǔn)直系統(tǒng)讓您無(wú)需輸入任何數(shù)據(jù)，便可持續(xù)自動(dòng)測(cè)量,。憑借著我們先進(jìn)的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架,，激光在自動(dòng)更換探針時(shí)便已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕,，便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn),，達(dá)到**位置。

離子化系統(tǒng)可創(chuàng)造更穩(wěn)定的掃描環(huán)境

創(chuàng)新的離子化系統(tǒng)能夠快速有效地消除樣品的靜電電荷,。由于系統(tǒng)能夠讓陰陽(yáng)離子保持**的平衡狀態(tài),，樣品得以處在極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境中。同時(shí),，對(duì)周邊區(qū)域的污染幾乎可以忽略不計(jì),，并將樣品操作時(shí)意外產(chǎn)生靜電電荷的幾率降到*低。