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世界**精度及強大功能Park原子力顯微鏡產品特性
Park XE15具備多個特殊功能,,是共享實驗室處理各類樣品,、研究員進行多變量實驗、失效分析師研究晶片等的不二選擇,。合理的價格搭配強健的性能設置,,使其成為業(yè)內性價比**的大型樣品原子力顯微鏡。
MultiSample™(多重采樣TM)掃描器帶來*便捷樣品測量
- 多樣品一次性自動成像
- 特殊設計的多樣品夾頭,,*多可承載16個獨立樣品
- 全自動XY樣品載臺,,行程范圍達200 mm x 200 mm。
無軸間耦合提高掃描精度
- 兩種獨立閉環(huán)XY和Z平板式掃描
- 平板式和線性XY掃描可達100μm x 100μm,,且殘余壓彎小
- 整個掃描范圍內的異面移動小于2nm
- 強力掃描器達25μm Z掃描范圍
- 精確的高度測量
Non-Contact™(真正非接觸TM)模式延長針尖使用壽命,、改善樣品保存及精度
- 其Z掃描頻寬是壓電管基礎系統(tǒng)的10倍
- 非接觸式可降低針尖磨損,、延長使用壽命
- 成像分辨率高于同類原子力顯微鏡
- 降低樣品干擾,提高掃描精度
提供**用戶體驗
- 開放式側面接入,,提高樣品及針尖更換效率
- 預對準的針尖安裝和****的軸上俯視法可簡單直觀地實現激光對準
- 燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸
- 界面帶自動設置功能,,方便用戶使用
多種模式與選項
- 綜合性測量模式及特性設置,是我司**通用型原子力顯微鏡
- 多種可選配件及更新,,擴展性能優(yōu)越
-? 為缺陷分析提供先進電氣測量
* 產品特點
100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導向掃描器
XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強力壓電堆疊,,可使極小平面外移動形成較大的正交運動,并能快速響應,,實現精確的樣品納米級掃描,。
柔性導向強力Z掃描器
在強力壓電堆疊的驅動及彎曲結構的引導下,其硬度允許掃描器高速豎直運動,,較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速,。**Z型掃描范圍搭配遠程Z掃描器(選配)可延長12μm至25μm。
滑動連接的超亮二極管頭
通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動,,可輕松將其插入或取出,。低相干的超發(fā)光二極管頭可實現高反射表面的精確成像和力-矩光譜的精確測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題,,因此用戶在可見光譜實驗中也可使用本產品,。
多樣品夾頭
特殊設計的多樣品夾頭,做多可承載16個獨立樣品,,由多重采樣掃描器自動按順序掃描,。特殊的夾頭設計為接觸樣品針尖預留了邊通道。
選配編碼器的XY自動樣品載臺
自動集成XY載臺可輕松并精確控制樣品的測量位置,。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm,。若搭配自動載臺使用編碼器,可提高樣品定位的精確度和重復性,。編碼XY載臺工作時分辨率為1 μm,,重復率為2 μm。編碼Z載臺的分辨率為0.1 μm,,重復率為1 μm,。
高分辨率數碼變焦感光元件攝像頭
高分辨率數碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學,具備變焦功能,,無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質量,。
垂直對齊的自動Z載臺及聚焦載臺
Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上,同時確保用戶視野清晰穩(wěn)定,。聚焦載臺是由軟件控制自動運行的,,因此滿足透明樣品及液態(tài)元件應用所需精度。
彎曲基底解耦XY和Z掃描器
Z掃描器與XY掃描器完全解耦,。XY掃描器在水平面上移動樣品,,同時Z掃描器豎直移動探針,。
此配置以*小異面移動,實現了平板式XY掃描,。此XY掃描同時還具有高正交性與線性,。
業(yè)內*低本底噪聲
為探測*小樣品的特性,幫助*快運動平面成像,,Park Systems設計了業(yè)內0.5?以下的*低本底噪聲標準設備,。使用“零掃描”探測本地噪聲數據。
真正非接觸模式延長針尖使用壽命
XE系列原子力顯微鏡已成功搭配**強力Z掃描系統(tǒng)獨有的真正非接觸模式,。真正非接觸模式下,,使用的是相吸而非相排斥的內部原子力。
真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級間距,,改善了原子力顯微鏡圖像,,保持針尖的銳利,因此有效延長了針尖使用壽命,。
預對準懸臂支撐
預先安裝在探針支撐上,,因此不需要嚴格對齊激光束。
高分辨率的直接同軸光學元件
用戶可直接俯視觀看樣品,,操控樣品表面,,從而很容易就能找到目標區(qū)域。高分辨率數碼攝像頭具備變焦功能,,無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質量,。
帶DSP控制芯片的XE控制電子元件
原子力顯微鏡發(fā)出的納米級信號將由高性能Park XE電子元件控制并處理。Park XE電子元件為低噪聲設計,,配備高速處理單元,,可成功實現真正非接觸™模式,是納米級成像及電壓電流精準測量的理想選擇,。
- 600 MHz,、4800 MIPS速度的高性能處理單元
- 低噪聲設計,適合電壓電流精準測量
-通用系統(tǒng),,各SPM技術均可得到應用
- 外部信號接入模塊,,存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
- *多16個數據成像
- **數據尺寸:4096 x 4096像素
- 16位ADC/DAC,速度達500 kHz
- TCP/IP連接,,隔離計算機接出電噪
技術參數:
掃描器: XY掃描器 Z掃描器
閉環(huán)控制的單模塊撓性XY掃描器 導向強力Z掃描器
掃描范圍:100 μm * 100 μm 掃描范圍:12 μm
25μm(選配)
樣品臺: XY臺工作范圍:150 mm * 150 mm
Z臺工作范圍:27.5 mm
聚焦臺工作范圍:20 mm
影像: 1 樣品基底
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像 樣品**尺寸:150 mm
10倍物鏡(選配20倍) 樣品**厚度:20 mm
視野: 480 μm *360 μm (10倍物鏡)
攝像頭:1M Pixel,, 5M Pixel (選配)
軟件: XEP XEI
系統(tǒng)控制和數據采集的專用軟件 AFM數據分析軟件
實時調整反饋參數
通過外部程序(選項)進行腳本級控制
售后服務:
為了給客戶提供高效便捷的售后服務,, Park公司在中國區(qū)建立有售后服務中心并配有備件倉庫,。
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