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等離子體清洗機(jī)對(duì)某些有特殊用途的材料,,在超清洗過程中等離子體清洗機(jī)的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性,、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌,。廣泛應(yīng)用于光學(xué),、光電子學(xué)、電子學(xué),、材料科學(xué),、生命科學(xué)、高分子科學(xué),、生物醫(yī)學(xué),、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
等離子體清洗機(jī)的應(yīng)用范圍:
* 清洗電子元件,、光學(xué)器件,、激光器件、鍍膜基片,、芯片,。
* 清洗光學(xué)鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片,。
* 移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì)。
* 清洗ATR元件,、各種形狀的人工晶體,、天然晶體和寶石。
* 清洗半導(dǎo)體元件,、印刷線路板,。
* 清洗生物芯片、微流控芯片,。
* 清洗沉積凝膠的基片,。
* 高分子材料表面修飾。
* 牙科材料,、人造移植物,、醫(yī)療器械的消毒和殺菌。
* 改善粘接光學(xué)元件,、光纖,、生物醫(yī)學(xué)材料、宇航材料等所用膠水的粘和力,。
設(shè)備型號(hào):PE-50
腔體尺寸:長方形腔體,,長度140 x深度178 x高度89mm;
腔體材質(zhì):T-6鋁合金一體成型,;
腔體容積:2.21升,;
射頻電源:13.56MHz;0~100W自動(dòng)調(diào)節(jié),;
工作壓力范圍:1-2000 mT,;
氣體流量控制:0-25cc/min帶精密針閥;
皮拉尼真空計(jì): 0-1Torr,;
選配:
1,、150W,50KHz,;
2,、400W,50KHz,;
3,、150W,13.56 MHz,;(自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò));
4,、300W,13.56 MHz,;(自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò));
5,、Venus PC控制功能,,可以通過MFC控制氣體;
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