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一、Tergeo系列等離子清洗機應用
適用于等離子體清洗,，蝕刻,，表面處理
應用領域
1.醫(yī)療器械活化、殺菌和提高涂層附著力
2.光刻膠灰化,、除渣,、硅片清洗
3. PDMS，微流體,，玻片和實驗室上的芯片
4.用于烴污染去除的SEM / TEM樣品清洗
5.引線鍵合,，倒裝芯片底部填充，器件封裝和解封
6.改善金屬與金屬或復合材料的結合
7.改善塑料、聚合物和復合材料的粘接
二,、Tergeo系列等離子清洗機的特點
1,、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；
2,、7英寸觸摸屏控制界面,，全自動操作；
3,、標配75W版本,，可選150W版本；
4,、系統(tǒng)具有雙等離子源,。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻,。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化,。
三、技術參數(shù)
1,、控制系統(tǒng)
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面,，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程,，總共有20個程序,，每個程序有3個清潔步驟。
2,、反應腔體
1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙,；
2）腔體容積：2.6L；
3）腔體尺寸：內(nèi)徑110毫米,，深度280毫米,。
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz,；
2）射頻功率：標配0~75W,；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W,；,。
4、等離子源
1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度,。
2）外置電極設計,，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。
5,、氣體控制
1）氣路控制：標配一路MFC,；可選配三路MFC,；
2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體,。
暫無數(shù)據(jù)！
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