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一、Tergeo系列等離子清洗機應(yīng)用
等離子清洗機清除樣品表面的污染物,，去除光阻膠：產(chǎn)生表面活性功能組,；
清洗提高材料表面親水性及疏水性，清洗生物芯片,、微流控芯片,，PDMS；
表面活化：渲染表面的親水性或疏水性,，鍵合和沉積前的表面預(yù)處理
表面聚合：沉積帶官能分子團的聚合物,，移植聚合物到活化后的材料表面；
表面改性：在材料表面產(chǎn)生官能分子團，高分子材料表面修飾,；
去除表面殘留微生物,，醫(yī)療器械的消毒和殺菌；
二,、Tergeo系列等離子清洗機的特點
1,、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器；
2,、7英寸觸摸屏控制界面,，全自動操作；
3,、標(biāo)配75W版本,，可選150W版本；
4,、系統(tǒng)具有雙等離子源,。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻,。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化,。
三、技術(shù)參數(shù)
1,、控制系統(tǒng)
1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面,，支持多種工作方式。
2）程序控制：可編程,，總共有20個程序,，每個程序有3個清潔步驟。
2,、反應(yīng)腔體
1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙,；
2）腔體容積：5.6L；
3）腔體尺寸：內(nèi)徑160毫米,，深度280毫米,。
3、射頻電源
1）射頻頻率：13.56MHz,；
2）射頻功率：標(biāo)配0~75W,；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W,；,。
4、等離子源
1）等離子強度探測器實時測量等離子源強度,。
2）外置電極設(shè)計,，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染,。
5、氣體控制
1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC,；可選配三路MFC,；
2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間控制氣體流量；
3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體,。
暫無數(shù)據(jù),！
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