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一、Tergeo系列等離子清洗機(jī)應(yīng)用

等離子清洗機(jī)清除樣品表面的污染物,，去除光阻膠：產(chǎn)生表面活性功能組,；

清洗提高材料表面親水性及疏水性，清洗生物芯片,、微流控芯片,，PDMS；

表面活化：渲染表面的親水性或疏水性,，鍵合和沉積前的表面預(yù)處理

表面聚合：沉積帶官能分子團(tuán)的聚合物,，移植聚合物到活化后的材料表面；

表面改性：在材料表面產(chǎn)生官能分子團(tuán),，高分子材料表面修飾,；

去除表面殘留微生物，醫(yī)療器械的消毒和殺菌,；

二,、Tergeo系列等離子清洗機(jī)的特點(diǎn)

1、13.56MHz高頻射頻發(fā)生器,；

2,、7英寸觸摸屏控制界面，全自動(dòng)操作,；

3,、標(biāo)配75W版本，可選150W版本,；

4,、系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動(dòng)表面處理,、光刻膠蝕刻,。遠(yuǎn)程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。

三,、技術(shù)參數(shù)

1,、控制系統(tǒng)

1）操作界面：7英寸電阻觸摸屏操作界面，支持多種工作方式,。

2）程序控制：可編程,，總共有20個(gè)程序,，每個(gè)程序有3個(gè)清潔步驟。

2,、反應(yīng)腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙,；

2）腔體容積：5.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑160毫米,，深度280毫米,。

3、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz,；

2）射頻功率：標(biāo)配0~75W,；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W,；,。

4、等離子源

1）等離子強(qiáng)度探測器實(shí)時(shí)測量等離子源強(qiáng)度,。

2）外置電極設(shè)計(jì),，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

5,、氣體控制

1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC,；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計(jì)可以在0~100sccm之間控制氣體流量,；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體,。