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電鏡腔等離子清潔儀（遠(yuǎn)程等離子清潔儀）

美國(guó)PIE出品的EM-KLEEN型遠(yuǎn)程等離子清潔儀,，廣泛用于SEM掃描電鏡,，F(xiàn)IB聚焦離子束雙束電鏡，TEM透射電鏡,，XPS_X射線光電子能譜分析儀,，ALD原子層沉積系統(tǒng)，CD-SEM,， EBR,， EBI， EUVL和其它高真空系統(tǒng),，可同時(shí)清潔真空腔室和樣品,！

污染物對(duì)電子顯微鏡SEM/TEM和其它高真空系統(tǒng)產(chǎn)生的影響

潤(rùn)滑劑、真空脂,、泵油樣品中的高分子聚合物,，或未經(jīng)處理的空氣都會(huì)把碳?xì)湮廴疚镆秸婵障到y(tǒng)中,。低蒸汽壓下高分子重污染物會(huì)凝聚在樣品表面和腔室壁上，而使用普通氣體吹掃方法很難把碳?xì)湮廴疚锴宄?/p>

電子和高能光子(EUV,， X-ray)能夠分解存在于真空系統(tǒng)中或樣品上的碳?xì)湮廴疚?。碳?xì)浠衔锏姆纸猱a(chǎn)物沉積在被觀測(cè)的樣品表面或電子光學(xué)部件上。這種碳?xì)湮廴境练e會(huì)降低EUV的鏡面反射率,，降低SEM圖像對(duì)比度和分辨率,，造成錯(cuò)誤的表面分析結(jié)果，沉積在光闌或其它電子組件的不導(dǎo)電碳?xì)湮廴疚锷踔習(xí)斐呻娮邮恢没蚓劢咕徛?。在ALD系統(tǒng)中,，樣品表面的碳?xì)湮廴疚镞€會(huì)降低薄膜的界面匹配質(zhì)量。

遠(yuǎn)程等離子清潔的原理

遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上,，控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量,。射頻電磁場(chǎng)能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基,，活性基會(huì)擴(kuò)散到下游的真空腔室,，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走,。遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)可同時(shí)清潔真空系統(tǒng)和樣品,。

技術(shù)特點(diǎn)：

快速清潔被污染的SEM樣品,。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品,。不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵

低等離子偏壓設(shè)計(jì)減少離子濺射和顆粒生成。結(jié)合自有**多級(jí)氣體過(guò)濾技術(shù),，SEMI-KLEEN能夠滿足用戶*苛刻的顆粒污染清除要求

可選藍(lán)寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器,，以便支持CF4， NF3,， NH3,， HF， H2S等應(yīng)用

特有的等離子強(qiáng)度傳感器可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子狀態(tài),，用戶對(duì)等離子狀態(tài)一目了然

基于壓力傳感回饋控制的自動(dòng)電子流量控制器,，無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)針閥

直觀的觸摸屏操作，可定義60條清洗程序方案

擁有智能安全操作模式和專家控制模式,；SmartScheduleTM定時(shí)裝置,，通過(guò)檢測(cè)樣品裝載次數(shù)或時(shí)間間隔來(lái)定時(shí)清潔系統(tǒng)

低電磁干擾設(shè)計(jì)，安靜的待機(jī)模式

一. 特有功能

1. 優(yōu)越的等離子技術(shù),，可以在小于0.1毫托的氣壓下點(diǎn)火并且保持穩(wěn)定的等離子體,。*低工作氣壓比其他同類產(chǎn)品低10到100倍。低氣壓清洗速度更快,，更均勻,，對(duì)電子槍和分子泵更安全,；

2. 即時(shí)等離子起輝技術(shù)。不用像在其他同類產(chǎn)品上那樣擔(dān)心等離子是不是成功起輝,；

3. 帶氣壓計(jì)的自動(dòng)氣體流量控制,；

4. 實(shí)時(shí)測(cè)量等離子強(qiáng)度，用戶可以根據(jù)這個(gè)實(shí)時(shí)反饋來(lái)優(yōu)化清洗配方,；

5. 自動(dòng)射頻匹配實(shí)時(shí)保證**化射頻耦合,，即使用戶調(diào)節(jié)清洗配方；

6. **保護(hù)的雙層顆粒過(guò)濾器設(shè)計(jì)保證我們的產(chǎn)品滿足Intel,，臺(tái)積電,，三星等半導(dǎo)體用戶的嚴(yán)格顆粒污染要求；

7. 帶LCD觸摸屏的直觀操作界面,；

8. 微電腦控制器帶可修改的智能清洗計(jì)劃,，設(shè)好就自動(dòng)清洗您的系統(tǒng)；

9. 支持清洗配方,，一鍵開始,，自動(dòng)射頻匹配，自動(dòng)控制氣體流量,；

10. 微電腦控制器可記錄所有信息狀態(tài),，便于系統(tǒng)維護(hù)。

二. 技術(shù)指標(biāo)

1. 等離子源真空接口：NW/KF40 法蘭; 提供轉(zhuǎn)接法蘭,；

2. 標(biāo)配等離子強(qiáng)度傳感器,；

3. 等離子源*低點(diǎn)火起輝氣壓：<0.1毫托；

4. 等離子源**工作氣壓：>1.0 托,；

5. 漏氣率：<0.005sccm,；

6. 射頻輸出：0~100瓦，連續(xù)可調(diào)節(jié),；

7. 具有射頻自動(dòng)匹配功能

8. 電源和功率：220V,， 50Hz，