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Tucano是一種臺式等離子系統(tǒng),，專為表面清潔,，改性和活化而設計。

系統(tǒng)特別設計用于等離子體表面處理包括光刻膠灰化,， 有機物去除,， 清洗， 活化,， 改性,， 沉積和刻蝕， 具有功能多,， 易操作性強,， 全自動化無需調(diào)試， 可靠性高,， 低成本等優(yōu)點,， 廣泛應用于半導體制造， 微電子加工， 生命科學制造和前處理等,。

用戶友好的圖形界面與高效的RF系統(tǒng)相結(jié)合,，使Tucano成為小型生產(chǎn)或研發(fā)環(huán)境的簡單通用解決方案。

應用程序示例

1.半導體制造

?光刻膠去除（剝離）及其殘留物（去除浮渣）,。

?有機焚燒（灰化）,，各向同性去除有機聚合物（如聚酰胺等）和氧化硅/氮化物。

?引線鍵合前的清潔或表面改性（粘合劑廣告和芯片載體）

?各向同性蝕刻

2.光學和眼科

工業(yè)洗滌后的原子水平清洗和預處理,，以提高防眩涂層的附著力,，耐刮擦; 聚合層劃傷和防霧。

3.紡織工業(yè)

清潔和表面改性,，以便在天然或合成纖維上染色或印花之前獲得親水表面,。（僅用于研發(fā)目的，不適用于大規(guī)模生產(chǎn)）

4.生物醫(yī)藥

表面清潔和改性適用于以下應用：

?植入裝置（增加潤滑性,，加快骨整合）

?不同材料（如注射器針頭,，導管等）之間的粘接

?在典型的工業(yè)清潔循環(huán)后，從有機殘留物中進行*終的超細原子級清潔

?接觸式和人工晶狀體,。

?支架

?樣品瓶

?對敏感塑料材料進行滅菌

5.精密機械

工業(yè)洗滌后在金屬和陶瓷表面的原子水平進行清潔以改善可涂漆性或其他類型的涂層（例如PVD）,。

6.塑料工業(yè)

用于潤濕性和不可潤濕性的表面清潔和改性

?粘接，焊接或涂裝/印刷前的表面清潔

?噴漆,，印刷前表面活化

?表面氟化,，增強功能

?交聯(lián)和表面聚合

工作原理

Tucano采用先進的PLC和LCD彩色觸摸屏顯示器實現(xiàn)全自動化。使用該系統(tǒng),，可以直接在系統(tǒng)組件上操作,，或讓PLC根據(jù)用戶可編輯的配方執(zhí)行過程。通過使用質(zhì)量流量控制器（MFC）將一種或多種處理氣體引入處理室,。RF射頻被引入腔室;與氣體分子相互作用,，該信號產(chǎn)生等離子體。產(chǎn)生的等離子體提供作用于待處理的基板表面的單層的反應性離子物質(zhì),。可以通過影響等離子體狀態(tài)的參數(shù)（氣體流量和頻率強度）來改變所得到的過程,。

產(chǎn)品功能

臺式等離子系統(tǒng)，簡單而通用

?*多可處理十種不同的可編輯配方

?一致結(jié)果的一致性

?數(shù)據(jù)記錄功能

?長期可靠性

?使用的主要品牌組件,，如真空泵,、儀表和質(zhì)量流量控制器（MKS儀器）

?可調(diào)節(jié)的RF功率水平，范圍為1W至200W