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FR-portable 便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成： Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng)，通過內嵌式微處理器控制,，使用壽命超過20000小時,。 小型光譜儀，光譜范圍370nm –1050nm,，分辨精度可達3648像素,， 16位級 A/D 分辨精度；配有USB通訊接口,； Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng),， 可精確計算如下參數(shù)： 1）單一或堆積膜層的厚度； 2）靜態(tài)或動態(tài)模式下,，單一膜層的折射率,；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據庫,，可以有效地協(xié)助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,，透射率和反射率的測量,，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權,，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用,。 C) 參考樣片： a) 經校準過的反射標準硅片； b) 經校準過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片,； c) 經校準過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片,； D) 反射探針臺和樣片夾具 可處理的樣品尺寸達200mm， 包含不規(guī)則的尺寸等,； 手動調節(jié)可測量高度可達50mm,； 可針對更大尺寸訂制樣片夾具； Ε) 反射率測量的光學探針 內嵌系統(tǒng)6組透射光探針200μm,， 1組反射光探針200μm,； |
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