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FR-Basic VIS/NIR基礎(chǔ)型膜厚儀（紫外/近紅外-高分辨率）光譜范圍：350-1000nm ： Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強(qiáng)度,。 小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm)，分辨精度可達(dá)3648像素,， 16位級(jí) A/D 分辨精度,；配有USB通訊接口； 光學(xué)連接器SMA 905,， 光譜儀功率：110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz. 10mm厚度的氧化鋁面板,，每英寸（25mm）間距，配有M6 (or ?”) 口徑鉆孔,，用以安裝光學(xué)部件,。 樣品放置臺(tái)，配有多點(diǎn)Z軸聚焦和X-Y軸移動(dòng)調(diào)節(jié)。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm),，可在測(cè)試區(qū)域內(nèi)精調(diào)節(jié),。 Β) FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng)， 可精確計(jì)算如下參數(shù)： 1）單一或堆積膜層的厚度,； 2）靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,，單一膜層的折射率；本軟件包含了類(lèi)型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù),，可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析,。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測(cè)量,，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,，一次使用授權(quán)，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用,。 C) 參考樣片： a) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片,； b) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片； c) 經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片,； D) 反射光學(xué)探針 系統(tǒng)內(nèi)嵌6組透射光探針200μm,， 1組反射光探針200μm； |
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