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單面精密晶圓銅拋機品牌
夢啟半導體產(chǎn)地
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設備優(yōu)勢
◎ 本設備為單面精密研磨設備，采用先進的機械結構和多種先進控制方法,。研磨加工效率高,，運行穩(wěn)定。
◎ 整機采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),，設備參數(shù)設置和操作簡單方便,，系統(tǒng)運行穩(wěn)定性高。
◎ 主電機采用變頻調(diào)速控制,，實現(xiàn)主機軟啟動,、軟停機，降低設備運行沖擊,，減少工件損傷,。
◎ 工件研磨壓力采用氣缸加壓方式，通過電氣比例閥控制實現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制,，保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性,。
◎ 上壓盤采用主動驅動方式，在確保產(chǎn)品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統(tǒng)一性,。
◎ 研磨盤冷卻水冷卻功能,，在保證研磨液發(fā)揮**效率的同時減少研磨盤面的變形。
◎ 設備自帶盤面修整機,，盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度,。
性能參數(shù)
暫無數(shù)據(jù)！
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