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全自動高精密晶圓倒角機(jī)
全自動高精密晶圓倒角機(jī)

參考價格

面議

型號

全自動高精密晶圓倒角機(jī)

品牌

夢啟半導(dǎo)體

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
深圳市夢啟半導(dǎo)體裝備有限公司

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設(shè)備優(yōu)勢

◎ 晶圓倒角單元采用側(cè)向進(jìn)給磨削原理,兼容中?4'' / ?6'' / ?8''(Φ100~Φ200)晶圓倒角加工,。


◎ 設(shè)備配有精密在線測量厚度儀單元和CCD視覺模組,,加工時先測量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度,。加工完后可測量直徑,,真圓度,直線邊到圓心尺寸,,倒角邊尺寸,。


◎ 設(shè)備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能,,滿足各類工藝需求,。


◎ 設(shè)備核心磨削主軸、承片主軸及視覺定位和測厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn),。


◎ 全自動上下料和不良品下料工位,。可進(jìn)行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工,。


◎ 配置了觸摸式液晶顯示器,,提高了操作便利性??刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設(shè)備狀態(tài),,操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作,。


性能參數(shù)

參數(shù)名稱單位DL-SC150ADL-SC200A
晶圓尺寸in兼容?4''/?6''

兼容?4''/?6''/?8''

研磨方式-晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削
砂輪直徑mm?205金剛石砂輪?205金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW11
額定轉(zhuǎn)速范圍RPM500~3000500~3000
Notch主軸
額定功率KW-0.5
額定轉(zhuǎn)速范圍RPM-1000~60000
產(chǎn)品和研磨臺定位精度um±4±4
厚度測量重復(fù)精度um±2±2
磨削精度直徑控制精度um1515
晶圓真圓度控制能力um<10<10
倒角面幅精度um<20<20
平邊/次平邊角度控制能力±0.05±0.05
設(shè)備尺寸(W x D x H)mm2000x1150x19502000x1150x1950
設(shè)備重量KG約1000約1000


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10分

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性價比

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