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設(shè)備優(yōu)勢

◎ 晶圓倒角單元采用側(cè)向進(jìn)給磨削原理，兼容中?4'' / ?6'' / ?8''（Φ100~Φ200）晶圓倒角加工,。

◎ 設(shè)備配有精密在線測量厚度儀單元和CCD視覺模組,，加工時先測量產(chǎn)品厚度和精確定位圓心控制倒角角度,。加工完后可測量直徑,，真圓度，直線邊到圓心尺寸,，倒角邊尺寸,。

◎ 設(shè)備具有多段倒角程序、粗磨、精磨倒角功能,，滿足各類工藝需求,。

◎ 設(shè)備核心磨削主軸、承片主軸及視覺定位和測厚系統(tǒng)都是自主研發(fā)生產(chǎn),。

◎ 全自動上下料和不良品下料工位,。可進(jìn)行0.4mm-1.5mm厚的晶圓雙面倒角加工,。

◎ 配置了觸摸式液晶顯示器,，提高了操作便利性?？刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設(shè)備狀態(tài),，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡單地完成操作,。

性能參數(shù)