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技術優(yōu)勢

分體式將電源與尾氣模塊,、PM/TM/EFEM模塊做了分體式設計，方便用戶將電源與尾氣模塊單獨放入灰區(qū)或夾層區(qū)域,。并可配合SMIF模塊和天車聯(lián)動,，實現(xiàn)全自動功能,。

設備擁有完全獨立的自主知識產(chǎn)權，具有差異化的進氣方式,、垂直氣流和溫場控制技術,，輔以全自動上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段，實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術指標和性能,，在高產(chǎn)能,、8/6吋兼容、CoO成本,、長時間多爐數(shù)連續(xù)自動生長控制,、低缺陷率、維護便利性,、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢,。

工藝性能

設備擁有完全獨立的自主知識產(chǎn)權，具有差異化的進氣方式,、垂直氣流和溫場控制技術,，輔以全自動上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段，實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術指標和性能,，在高產(chǎn)能,、8/6吋兼容、CoO成本,、長時間多爐數(shù)連續(xù)自動生長控制,、低缺陷率、維護便利性,、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢,。設備擁有完全獨立的自主知識產(chǎn)權，具有差異化的進氣方式,、垂直氣流和溫場控制技術,，輔以全自動上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段，實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術指標和性能,，在高產(chǎn)能,、8/6吋兼容、CoO成本,、長時間多爐數(shù)連續(xù)自動生長控制,、低缺陷率、維護便利性,、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢,。