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一體式垂直氣流碳化硅外延設備品牌
芯三代產地
江蘇樣本
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技術優(yōu)勢
設備擁有完全獨立的自主知識產權,，具有差異化的進氣方式、垂直氣流和溫場控制技術,，輔以全自動上下料（EFEM）系統(tǒng)和高溫傳盤等手段,，實現(xiàn)了全球優(yōu)異的低缺陷等綜合技術指標和性能，在高產能,、8/6吋兼容,、CoO成本、長時間多爐數連續(xù)自動生長控制,、低缺陷率,、維護便利性、可靠性等方面都具有明顯的優(yōu)勢,。
工藝性能
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