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產(chǎn)品圖片：

產(chǎn)品型號:

SGM-9100

產(chǎn)品介紹：

SGM-9100是一款適用于化合物半導(dǎo)體晶片中難研削材料,、脆性材料的高精度CtoC全自動研削減薄機，加工軸采用2軸,、3卡盤,、旋轉(zhuǎn)臺方式。

加工方式采用間歇性,，遞進(jìn)式的in-feed研削法（面對面加工減少橫向壓力原因的裂紋發(fā)生率）,。對加工中晶圓的厚度變化進(jìn)行監(jiān)測，同時使用IPG制御系統(tǒng)對加工的厚度進(jìn)行實時監(jiān)測管理,。

特別一提,，對應(yīng)φ8英寸的SiC的高效磨削，秀和的機器配備11?的高動力輸出的砂輪主軸電機,，同時兼?zhèn)浞€(wěn)定高剛性。

秀和通過多年來大量的經(jīng)驗技術(shù)的沉淀,，在針對第三代“寬禁帶半導(dǎo)體”化合物晶圓的研磨工藝領(lǐng)域,，擁有業(yè)界**的自信，對不同材質(zhì),，提供*適合砂輪磨石方案,。

基本規(guī)格：

選配功能：

*需單獨溝通確認(rèn)

SGM-9100 研削方法：

Infeed研削：晶圓吸附臺旋轉(zhuǎn)的同時，砂輪砥石軸也在反向旋轉(zhuǎn)中,，在接觸的瞬間開始加工,，但是加工領(lǐng)域只有半面晶圓IPG制御可對加工進(jìn)程進(jìn)行進(jìn)行實時監(jiān)控與管理。以俯瞰的視點來看,，加工軌跡是從中心向外延擴散開的,。（面對面加壓研磨減薄）

加工精度：

φ6”SiC  *終研削后

?平坦度1.5μm

?Ra=1～2nm

生產(chǎn)能力：

例1 ) φ6” SiC器件研削時(單面處理)

?t=350μm→150μm

　UPH/約13片

　運行12小時   　日產(chǎn)/156片

　運行30天　　    月產(chǎn)/4680片

例2 ) φ6” SiC晶片研削時(雙面處理)

?t=450μm→350μm

　 UPH/約7片

    運行12小時　 日產(chǎn)/84片

　 運行30天 　　月產(chǎn)/2550片

優(yōu)勢：

• 化合物半導(dǎo)體晶片偏硬,，偏脆的特性,，在加工上比較困難，尤其是減薄加工工序難度更加一籌,，秀和工業(yè)可以提供優(yōu)秀于其他廠家的減薄加工的專用設(shè)備,。

• 優(yōu)先于同行業(yè)其他廠家,，開發(fā)出IoT系統(tǒng)，使用各種感應(yīng)功能,，監(jiān)控和管理設(shè)備的運作狀態(tài),。量產(chǎn)工程中的故障可以提前感知，以提前預(yù)防做好保全工作,。為客戶提供「安心」「安全」的產(chǎn)品,。

• 半導(dǎo)體后工程的「貼附」「研削」「研磨」「剝離」相關(guān)的加工設(shè)備，業(yè)界里只有秀和工業(yè)全部都有涉獵,，可以為客戶提供一體式設(shè)備解決方案,。

工藝流程：