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微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— B型品牌
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性能特點：
?采用特殊材質反應腔，能耐高溫 ?高品質單晶金剛石,、多晶金剛石的批量生長 ?使用高精度氣體流量計,，高穩(wěn)定性 ?采用純凈的石英窗 |
主要技術參數：
| 微波功率 | 0.6kW － 6kW 連續(xù)可調 2.45 GHz |
| 反應腔 | 圓柱形反應腔 |
| 真空漏率 | ≤5×10-10Pa·m3/s |
| 氣體質量流量控制 | 標配5路，可定制 |
| 工作氣壓 | 1kPa - 30kPa |
| 基板臺類型 | 水冷式基板臺 |
| 標準襯底托 | **支持60mm直徑圓臺面積穩(wěn)定沉積 |
| 樣品臺 | 多層升降 |
| 操作系統(tǒng) | PLC控制系統(tǒng) |
| 樣品臺升降功能 | 有,，可選 |
| 樣平臺旋轉功能 | 有 |
| 旋轉模式 | 連續(xù)旋轉,、間歇旋轉 |
| 旋轉角度 | 360° |
| 旋轉速度 | 0-20轉/分，可調節(jié) |
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