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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700品牌
北京泰科諾產(chǎn)地
北京樣本
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設備名稱：熱絲 CVD 金剛石膜沉積設備
設備型號：HF700
真空腔室結(jié)構：立式前開門結(jié)構,，后置抽氣系統(tǒng),，雙層水冷
真空腔室尺寸：Φ700mmxH700mm
真空系統(tǒng)：高真空泵組系統(tǒng)
基片臺尺寸：350mm2×350mm2 方形基片臺（旋轉(zhuǎn)、升降可選）
襯底溫度：600 ～ 1100℃
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