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設(shè)備名稱：大面積平板鍍膜設(shè)備

設(shè)備型號(hào)：JCPF1600~4500

真空系統(tǒng)：國產(chǎn)或進(jìn)口分子泵 / 低溫泵 + 羅茨泵 + 機(jī)械泵高真空系統(tǒng)

極限真空：優(yōu)于 2.0×10-4Pa

抽速：從大氣到 3.3×10-3Pa ≤ 30min 升壓率關(guān)機(jī) 12 小時(shí)后真空度≤ 10Pa

工件架尺寸：可根據(jù)尺寸定制

工件烘烤溫度 ：室溫～ 300℃,，可調(diào)可控（PID 控溫）

配置：矩形磁控靶,、弧源、離子源,、偏壓可選

系統(tǒng)：全自動(dòng)控制系統(tǒng),，個(gè)性化的 Tech-Coating 控制菜單，安全保護(hù)系統(tǒng)