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拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)品牌
杭州晶馳產(chǎn)地
浙江樣本
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該設備為微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)(MWCVD)。采用2.45GHz頻率微波源,,激發(fā)穩(wěn)定的等離子體,。電場激發(fā)模式為TM021模式,該系統(tǒng)可以穩(wěn)定生長金剛石單晶材料,、多晶晶圓,。
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