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水平雙腔外延爐品牌
杭州晶馳產(chǎn)地
浙江樣本
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產(chǎn)品詳情
1、水平雙腔布置,硬件成本低于兩臺單腔外延爐;
2,、雙腔工藝和維護(hù)獨立,實現(xiàn)不停機(jī)連續(xù)生產(chǎn),；
3、兼容4/6寸晶圓外延生長,外延層質(zhì)量優(yōu)異;
4,、全自動上下料,，釋放人工成本;
暫無數(shù)據(jù)！
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