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微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— C型品牌
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微波等離子化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— C型 一款先進(jìn)的微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置,。微波輸入采用下饋的方式,，為腔體結(jié)構(gòu)的優(yōu)化提供了可能性。 該裝置可以再相對(duì)大面積的襯底上進(jìn)行金剛石單晶和多晶生長,。 |
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