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微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng)品牌
成都華宇產地
四川樣本
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性能特點:
?**功率達到6kW ?微波反應腔新型設計,,功率密度大 ?產品沉積速率快,、沉積質量高 ?采用水冷全金屬腔體 ?采用高效散熱的樣品臺 ?設備安全性高、耐用性高,、可靠性強 ?多參數(shù)實時監(jiān)測,,PLC屏幕控制,簡捷的人機交互界面 |
暫無數(shù)據(jù),!