日韩av在线高清免费毛片日韩欧美一级成人|女人18以后毛片|国产18女人毛多水多毛片|乱系列人妻视频|中文字幕久久熟女人妻av|91麻豆人妻|校花被我玩弄|父女乱荡|高潮videossex潮喷另类|日本在线观看人妻,黑人侵犯日本人妻,色哟哟视频线在线播放欧美,亚洲欧美国产国产一区第二页

非接觸式可靠性MApping測量系統(tǒng)COREMA-WT提供無損全晶圓電阻率表征，具有極高的精度,，分辨率和測量速度,。它基于德國弗賴堡Fraunhofer應(yīng)用固態(tài)物理研究所開發(fā)的非接觸電容技術(shù)。對于確定晶片橫向均勻性的制造工藝步驟的詳細(xì)但快速的生產(chǎn)兼容控制是*有價值的,。***地支持探索性流程優(yōu)化,。

晶片上方和下方的電容金屬電極通過快速且精確的xy平移定位。他們在所需的測量點定義了本地樣品和空氣電容器,。將充電電壓步驟施加到RC電路并記錄動態(tài)電荷再分配,。從初始和*終電荷值和弛豫時間獲得電阻率。由于基于**原理的評估僅使用相對單元并且因為所有幾何參數(shù)抵消,，所以以**單位獲得電阻率值而不涉及任何儀器校準(zhǔn)因子,。可以使用標(biāo)準(zhǔn)測試方法文檔（DIN 50447）,。

單個測量只需要幾分之一秒,。因此，在非?？山邮艿臅r間內(nèi)獲得完整的晶片形貌,。例如，記錄和評估在數(shù)據(jù)點之間具有1.4mm步長的100mm直徑的晶片形貌圖大約需要20分鐘,。

該系統(tǒng)通常由供應(yīng)商和客戶用于半絕緣晶片的常規(guī)生產(chǎn)控制和質(zhì)量評估,。電阻率測量范圍為1E6至1E9Ωcm的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)優(yōu)先用于GaAs和InP。對于SiC和GaN,，可提供具有1E5至1E12Ωcm擴展范圍的系統(tǒng)。

完整的測量過程,，包括數(shù)據(jù)評估和專業(yè)演示,，由基于Microsoft Windows的用戶友好型軟件支持和控制。軟件界面包括設(shè)置所需的測量程序,，在線監(jiān)控測量過程,，顯示地形數(shù)據(jù)和詳細(xì)的統(tǒng)計評估。提供各種地形顯示,，包括灰度,，彩色編碼以及偽3D表示，提供令人信服的,，以客戶為導(dǎo)向的產(chǎn)品質(zhì)量以及評估和規(guī)范驗證,。

SemiMap分析系統(tǒng)：

其他半導(dǎo)體測量系統(tǒng)

超高半導(dǎo)體電阻率測量

產(chǎn)品名稱：SemiMap Analytical Systems

產(chǎn)品編號：COREMA-WT

制造商：SemiMap Scientific Instruments GmbH

介紹：

測量范圍1x106 1x109Ohm*cm

探頭尺寸1mm 直徑

重復(fù)性優(yōu)于1％

邊緣排除2.5mm

電阻率評估時間270 ms @ 1E7 Ohm * cm，包括1 mm步進(jìn)轉(zhuǎn)換時間

晶圓評估時間為20毫米晶圓和1.4毫米x 1.4毫米步長20分鐘

溫度校正基于卡盤的電阻率溫度測量

歸一化到指定的溫度