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SEMIMAP化合物半導(dǎo)體電阻率測(cè)量
SEMIMAP化合物半導(dǎo)體電阻率測(cè)量

參考價(jià)格

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型號(hào)

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產(chǎn)地

德國(guó)

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賽倫科技

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第2年

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非接觸式可靠性MApping測(cè)量系統(tǒng)COREMA-WT提供無(wú)損全晶圓電阻率表征,,具有極高的精度,分辨率和測(cè)量速度,。它基于德國(guó)弗賴(lài)堡Fraunhofer應(yīng)用固態(tài)物理研究所開(kāi)發(fā)的非接觸電容技術(shù),。對(duì)于確定晶片橫向均勻性的制造工藝步驟的詳細(xì)但快速的生產(chǎn)兼容控制是*有價(jià)值的。***地支持探索性流程優(yōu)化,。

晶片上方和下方的電容金屬電極通過(guò)快速且精確的xy平移定位。他們?cè)谒璧臏y(cè)量點(diǎn)定義了本地樣品和空氣電容器,。將充電電壓步驟施加到RC電路并記錄動(dòng)態(tài)電荷再分配,。從初始和*終電荷值和弛豫時(shí)間獲得電阻率。由于基于**原理的評(píng)估僅使用相對(duì)單元并且因?yàn)樗袔缀螀?shù)抵消,所以以**單位獲得電阻率值而不涉及任何儀器校準(zhǔn)因子,??梢允褂脴?biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法文檔(DIN 50447)。

單個(gè)測(cè)量只需要幾分之一秒,。因此,,在非常可接受的時(shí)間內(nèi)獲得完整的晶片形貌,。例如,,記錄和評(píng)估在數(shù)據(jù)點(diǎn)之間具有1.4mm步長(zhǎng)的100mm直徑的晶片形貌圖大約需要20分鐘。

該系統(tǒng)通常由供應(yīng)商和客戶(hù)用于半絕緣晶片的常規(guī)生產(chǎn)控制和質(zhì)量評(píng)估,。電阻率測(cè)量范圍為1E6至1E9Ωcm的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)優(yōu)先用于GaAs和InP,。對(duì)于SiC和GaN,可提供具有1E5至1E12Ωcm擴(kuò)展范圍的系統(tǒng),。

完整的測(cè)量過(guò)程,,包括數(shù)據(jù)評(píng)估和專(zhuān)業(yè)演示,由基于Microsoft Windows的用戶(hù)友好型軟件支持和控制,。軟件界面包括設(shè)置所需的測(cè)量程序,,在線(xiàn)監(jiān)控測(cè)量過(guò)程,顯示地形數(shù)據(jù)和詳細(xì)的統(tǒng)計(jì)評(píng)估,。提供各種地形顯示,,包括灰度,彩色編碼以及偽3D表示,,提供令人信服的,,以客戶(hù)為導(dǎo)向的產(chǎn)品質(zhì)量以及評(píng)估和規(guī)范驗(yàn)證。

SemiMap分析系統(tǒng):

其他半導(dǎo)體測(cè)量系統(tǒng)

超高半導(dǎo)體電阻率測(cè)量

產(chǎn)品名稱(chēng):SemiMap Analytical Systems

產(chǎn)品編號(hào):COREMA-WT

制造商:SemiMap Scientific Instruments GmbH

介紹:

測(cè)量范圍1x106 1x109Ohm*cm

探頭尺寸1mm 直徑

重復(fù)性?xún)?yōu)于1%

邊緣排除2.5mm

電阻率評(píng)估時(shí)間270 ms @ 1E7 Ohm * cm,,包括1 mm步進(jìn)轉(zhuǎn)換時(shí)間

晶圓評(píng)估時(shí)間為20毫米晶圓和1.4毫米x 1.4毫米步長(zhǎng)20分鐘

溫度校正基于卡盤(pán)的電阻率溫度測(cè)量

歸一化到指定的溫度

創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性?xún)r(jià)比

10分
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SEMIMAP化合物半導(dǎo)體電阻率測(cè)量信息由賽倫科技為您提供,,如您想了解更多關(guān)于SEMIMAP化合物半導(dǎo)體電阻率測(cè)量報(bào)價(jià)、型號(hào),、參數(shù)等信息,歡迎來(lái)電或留言咨詢(xún),。
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