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MEMS用高真空密封機
MEMS用高真空密封機

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上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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技術(shù)規(guī)格:

1. 兩個加熱區(qū)域,每區(qū)域直徑200mm,、6組件適配器,;

2. 腔體高度:100mm;

3. 底部加熱:450攝氏度(選配600度),,頂部加熱:200攝氏度,;

4. 升溫速率:20度/分鐘 (真空環(huán)境),;

5. 降溫速率:20度/分鐘 (真空環(huán)境);

6. 真空度:10exp-6 hPa,;

7. 軟件Unisoft包括USB接口,;

8. 可儲存20程序,每程序包括100步,;

9. 尺寸:550 x 500 x 1060 mm (WxHxD),;

10.重量:105Kg;

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  • MEMS用高真空密封機的操作規(guī)程有嗎,?
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