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英國Ossila公司Spin Coate型旋涂機,,操作簡單,,方便實用,旋涂均勻,,結構小巧緊湊,,為實驗室提供了理想的解決方案,其采用創(chuàng)新設計的非真空卡盤式旋涂吸盤,,無需真空泵或充氮氣,,就能達到很好的旋涂效果??蓪Υ笮〔煌?guī)格的基材都可進行旋涂,,尤其是對超薄樣品,即使基片厚度0.7毫米,、0.55毫米,、0.2毫米或更薄時同樣能達到**的旋涂效果。不會出現真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現象,,影響涂層的均勻性,。廣泛應用于微電子、半導體,、制版,、新能源、生物材料,、光學及表面涂覆等工藝,。
技術性能
v 可在手套箱和通風廚內使用,基座面積僅為22.5x17cm,;
v 無需真空泵,、充氮氣,節(jié)省保養(yǎng)維護費用,;
v 創(chuàng)新設計非真空卡盤式吸盤,,基材只需放置在卡盤式旋涂托盤適當位置,無需抽真空,,就能達到**的旋涂效果,;
v 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面,堅固的不銹鋼外殼,,鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質旋涂托盤,,使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運行;
v 采用液晶顯示+按鍵操作控制界面,;
v 智能程序化控制:10個用戶自定義協(xié)議,,每個協(xié)議下可設置10個程序,每個程序*多50個步驟,;
v 內置水平校準裝置,,zui大限度的保證旋涂均勻,,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂;
v 電磁安全開關,,蓋子打開卡盤停止,,保證運行安全;
v 轉速穩(wěn)定性:<2%,;
v 轉速:120-6000rpm,;
v 定時器:1-1000秒;
v 電源:DC24V,、2A,, 使用100-240v 50/60Hz電源適配器;
v 尺寸:220x170x132mm,。
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