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CIF紫外臭氧清洗機

紫外臭氧清洗機（UVO）,，是一種簡單,，經(jīng)濟，快速高效的材料表面清洗設(shè)備,，能快速去除大多數(shù)無機基材（比如石英,，硅片，金,，鎳,，鋁，砷化鎵,，氧化鋁等）上的有機污染物,。

CIF紫外臭氧清洗機采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,，樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫，以便達到*清洗效果,。

產(chǎn)品特點

u 可編程數(shù)字控制器,，設(shè)置操作簡單方便，四鍵操作控制,。

u 數(shù)字顯示清洗時間,，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。

u 任何時間可以手動中斷處理過程,。

u 自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置,。

u 樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-260℃,，控溫精度0.1℃,。

u 上置式樣品臺設(shè)計，360度自由放置樣品,，操作方便,。

u 樣品臺高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,，可以合理定位樣品高度和位置,，位置可鎖定。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,，燈管壽命大約為8000小時,。

u 高強度UV燈源，波長185nm和254nm,。

u UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大2.5cm,，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

u 雙重安全保護,，當清洗腔打開時,，系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈，并有燈光通斷提示,。

u 帶進&出氣口雙氣路設(shè)計,，可接入氧氣，增加臭氧產(chǎn)量,。

u 可選臭氧中和器,，用于臭氧清除。

u 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔,。

技術(shù)參數(shù)

注：UVO型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能,，樣品臺高度不可調(diào)；UVOP可選配樣品臺加熱功能,，樣品臺高度可調(diào),；UVOT標配樣品臺加熱功能,，樣品臺高度可調(diào)。