看了勻膠旋涂儀的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
CIF勻膠機
CIF勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,、啟動迅速,旋涂均勻,,操作簡單,,結(jié)構(gòu)緊湊實用,,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子,、半導體,、新能源、化工材料,、生物材料,、光學,硅片,、載玻片,,晶片,基片,,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等,。
產(chǎn)品特點
u 采用閉環(huán)控制伺服電機,數(shù)字式增速信號反饋,,速勻準確,,壽命長,保證勻膠均勻,。
u 5寸全彩觸摸屏,,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設(shè)置),,可選配10個可編程程序,,每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段,多100個階段,。
u 內(nèi)置水平校準裝置,,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂,。
u 多重安全保護
電磁安全開關(guān),,蓋子打開卡盤停止,保證安全,;
蓋子自鎖功能,,防止飛片蓋彈開傷人;
雙重安全上蓋,,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實驗人員安全,。
u 一機兩用,,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。
u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,,PTFE旋涂腔體,,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行,。
u 適用硅片、玻璃,、石英,、金屬、GaAs,,GaN,,InP 等多種材料。
技術(shù)參數(shù)
型號 | 轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分) | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | 勻膠時間 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 | 50-10000 | ±1% | 0-2000S | 圓片Φ5-Φ100,,方片100x100 | 310x260x250 |
暫無數(shù)據(jù),!