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CIF勻膠機(jī)
CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,,旋涂均勻,,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案,。廣泛應(yīng)用于微電子,、半導(dǎo)體、新能源,、化工材料,、生物材料、光學(xué),,硅片,、載玻片,晶片,,基片,,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),,數(shù)字式增速信號反饋,,速勻準(zhǔn)確,壽命長,,保證勻膠均勻,。
u 5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,,標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),,可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,,多100個(gè)階段,。
u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,大限度的保證旋涂均勻,,可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂,。
u 多重安全保護(hù)
電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,,保證安全,;
蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開傷人,;
雙重安全上蓋,,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,,大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全,。
u 一機(jī)兩用,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式,。
u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,,耐酸堿防腐蝕,,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
u 適用硅片,、玻璃,、石英、金屬,、GaAs,,GaN,InP 等多種材料,。
技術(shù)參數(shù)
型號 | 轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分) | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | 勻膠時(shí)間 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 | 50-10000 | ±1% | 0-2000S | 圓片Φ5-Φ100,,方片100x100 | 310x260x250 |
暫無數(shù)據(jù)!