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CIF勻膠機(jī)
CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,、啟動(dòng)迅速,,旋涂均勻,操作簡(jiǎn)單,,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子,、半導(dǎo)體,、新能源,、化工材料、生物材料,、光學(xué),,硅片、載玻片,,晶片,,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等,。
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),,數(shù)字式增速信號(hào)反饋,速勻準(zhǔn)確,,壽命長(zhǎng),,保證勻膠均勻。
u 5寸全彩觸摸屏,,智能程序化可編程操控顯示,,標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),可選配10個(gè)可編程程序,,每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,,*多100個(gè)階段。
u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,,*限度的保證旋涂均勻,,可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
u 多重安全保護(hù)
電磁安全開(kāi)關(guān),,蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,,保證安全;
蓋子自鎖功能,,防止飛片蓋彈開(kāi)傷人,;
雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,,限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
u 一機(jī)兩用,,根據(jù)不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式,。
u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤(pán),,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行,。
u 適用硅片,、玻璃、石英,、金屬,、GaAs,GaN,,InP 等多種材料,。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分) | 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 | 勻膠時(shí)間 | 旋涂基片尺寸mm | 外型尺寸(LxWxH)mm |
SC1 | 50-10000 | ±1% | 0-2000S | 圓片Φ5-Φ100,方片100x100 | 310x260x250 |
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