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CIF掃描電鏡等離子清洗機
CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程,、原位雙等離子清洗源設(shè)計，并可自動切換,，一機多用,。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現(xiàn)常規(guī)等離子清洗,。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳氫化合物的清洗,。
產(chǎn)品特點
u 雙等離子清洗源
u 一機多用
u 高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào),，自動匹配器 |
氣體控制 | 標配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）,，精確測量自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣,、氬氣,、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,， 測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,，中英文互動操作界面 |
電源/功率 | 220V,，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣,、氮氣,、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％,，輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保,，終身維護 |
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