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CIF透射電鏡樣品桿清洗機(jī)
CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機(jī)采用雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，自動(dòng)切換,，一機(jī)多用,，清洗快速高效,。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途,。
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 雙等離子清洗源
u 一機(jī)多用
u 快速高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CIF-TEM |
真空泵 | Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵 |
入口壓力1.0個(gè)大氣壓（0psig）,，出口壓力1.4個(gè)大氣壓（6.5psig） | |
抽速60L/min,，極限真空3.3 x 10-1 mbar | |
KF16入口接口 | |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào) |
兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠(yuǎn)程等離子源,，自動(dòng)匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸(長X寬X高)150X150X150mm |
清洗數(shù)量 | 可同時(shí)清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | THERMO FISHER（FEI）,、日立HITACHI、捷歐路JEOL |
氣體控制 | 標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）,，精確測量自動(dòng)控制氣體流量,，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣,、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源 | 220V,，50/60Hz，300W |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保,，終身維護(hù) |
暫無數(shù)據(jù),！
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