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CIF紫外臭氧清洗機
紫外臭氧清洗機（UVO）,，是一種簡單，經(jīng)濟,，快速高效的材料表面清洗設(shè)備,，能快速去除大多數(shù)無機基材（比如石英，硅片,，金,，鎳，鋁,，砷化鎵,，氧化鋁等）上的有機污染物,。
CIF紫外臭氧清洗機采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫,，以便達到清洗效果,。
產(chǎn)品特點
u 可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡單方便,，四鍵操作控制,。
u 數(shù)字計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間,。
u 任何時間可以手動中斷處理過程,。
u 自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
u 樣品臺可控溫（可選）,，控溫范圍RT-260℃,，控溫精度0.1℃。
u 上置式樣品臺設(shè)計,，360度自由放置樣品,，操作方便。
u 樣品臺高度可調(diào),，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,，可以合理定位樣品高度和位置，位置可鎖定,。
u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,，燈管壽命大約為8000小時。
u 高強度UV燈源,，波長185nm和254nm,。
u UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm,。
u 雙重安全保護,，當清洗腔打開時，系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈,，并有燈光通斷提示,。
u 帶進&出氣口雙氣路設(shè)計,，可接入氧氣,，增加臭氧產(chǎn)量。
u 可選臭氧中和器,，用于臭氧清除,。
u 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | UV燈尺寸cm | 樣品臺高度cm | 主機重量kg | 外型尺寸（LxWxH）cm |
UVO5/UVO5P/UVO5T | 13x13 | 10cm內(nèi)可調(diào) | 6 | 31x26x20 |
UVO9/UVO9P/UVO9T | 23x23 | 10cm內(nèi)可調(diào) | 12.5 | 60x50x20 |
注：UVO型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能,，樣品臺高度不可調(diào),；UVOP可選配樣品臺加熱功能,，樣品臺高度可調(diào)；UVOT標配樣品臺加熱功能,，樣品臺高度可調(diào),。
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