看了濺射離子槍，等離子體發(fā)生源的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
濺射離子槍主要用途:
濺射清洗/表面科學(xué)中樣品表面處理,， MBE and HV 濺射過程
離子輔助沉積
離子束濺射鍍膜
反應(yīng)離子刻蝕
技術(shù)指標:
| 離子能量 | 25eV - 5keV |
| 總的離子束電流 | 1mA (at 5kV with Argon) High Current Version: up to 4mA (at 5kV with Argon) |
| 電流密度 | 120μA/cm2 at 100mm working distance |
| 離子束發(fā)散角 | Ion energy dependant (typically 15°) |
| 工作距離 | 100 mm (typically) |
| 等離子體杯 | Alumina (superior than other dielectric materials due to highest yield of secondary electrons) |
| 氣體進氣口徑 | CF-16 (1.33“OD) |
| 氣體流速 | 1 - 5 sccm (1,，5 sccm typical， gas dependant) |
| 工作真空度 | 10-6mbar - 10-3mbar (1x10-5mbar typical in chamber with 300l/s pimp). Low 10-6 mbar range possible - beam current then 140μA max. |
| 激發(fā)模式 | 微波放電等離子體 (無燈絲) |
| 安裝口徑 | CF-35 (2.75“OD) |
| 槍直徑 | 34mm (真空端) |
| 泄露閥 | 需要氣體質(zhì)量流量計 |
暫無數(shù)據(jù),！
濺射離子槍,，等離子體發(fā)生源的工作原理介紹,？濺射離子槍,，等離子體發(fā)生源的使用方法,？濺射離子槍，等離子體發(fā)生源多少錢一臺,？濺射離子槍,，等離子體發(fā)生源使用的注意事項濺射離子槍，等離子體發(fā)生源的說明書有嗎,？濺射離子槍,，等離子體發(fā)生源的操作規(guī)程有嗎？濺射離子槍,，等離子體發(fā)生源的報價含票含運費嗎,？濺射離子槍，等離子體發(fā)生源有現(xiàn)貨嗎,？濺射離子槍,，等離子體發(fā)生源包安裝嗎？
手機版：
工商已核實
