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產(chǎn)品功能
對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、共面性,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、 腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、蝕刻情況、彎曲變形情況,、加工情況,、材料支撐率等表面形貌特征進(jìn)行 測(cè)量和分析。被測(cè)物體的尺寸通常不大于 150*100mm,，更大尺寸的測(cè)量系統(tǒng)可以定做,；工作臺(tái)**承載重 量 40Kg。
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車工業(yè),、航空航天,、造紙工業(yè)、鋼鐵工業(yè),、薄膜加工,、半導(dǎo)體加工、MEMS 等行業(yè),。
應(yīng)用范圍
* 機(jī)械密封的平面度和粗糙度測(cè)量,；
* 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測(cè)量分析,；
* BGA 焊料球的共面性,、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析；
* 造紙行業(yè)對(duì)紙張表面的紋理分析,；
* 膜片的厚度及涂層的高度測(cè)量等,；
* 化學(xué)蝕刻產(chǎn)品的蝕刻深度和面積測(cè)量；
* 壓花材料表面特征分析,，如合成材料人造皮革表面形貌測(cè)量分析,；
* 絲印裝置涂層厚度測(cè)量，如電子產(chǎn)品和生物醫(yī)療器械等,；
* 軋制鋁膜和鋼板表面情況進(jìn)行三維分析,；
* 法醫(yī)學(xué)上三維表面形貌測(cè)量分析；
* 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測(cè)量分析；
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析,；
* 醫(yī)學(xué)上如人造皮膚的輪廓分析,；
* 溝槽深度和截面計(jì)算分析；
* 激光蝕刻表面的雕刻深度測(cè)量,；
* 各種柔軟材料,、易腐蝕材料、傳統(tǒng)接觸方式無(wú)法檢測(cè)的產(chǎn)品的表面形態(tài)測(cè)量和分析,；
* 其他各種小型部件的平面度,、粗糙度,、波紋度和輪廓測(cè)量分析,。
技術(shù)規(guī)范
掃描儀大尺寸（長(zhǎng)*寬*高） | 740*542*（780-835）mm |
掃描儀**重量 | 40Kg |
電控部分尺寸 | 570*700*750mm |
電控部分重量 | 40Kg |
計(jì)算機(jī)顯示器 | 15” LED 顯示器 |
照明與定位攝像頭（可選） | 14” CRT |
掃面平臺(tái)尺寸 | 380*280mm |
X 和 Y 軸行程 | 150mm*100mm |
Z 軸行程 | 100mm |
電源 | 220 - 240 VAC， 50/60Hz |
使用環(huán)境 | 10-35℃ |
X 及 Y 軸掃描點(diǎn)*小間隔距離 | 1μm |
X 及 Y 軸掃描點(diǎn)*,，大間隔距離 | 9.999mm |
標(biāo)準(zhǔn)配置掃描樣品**重量 | 6Kg |
數(shù)據(jù)采集**速度（取決于傳感器及設(shè)定） | 20000 點(diǎn)/秒 |
**掃描速度（取決于傳感器及設(shè)定） | 80mm/秒 |
回程速度 | 100mm/秒 |
**掃描點(diǎn)數(shù) | 576 萬(wàn)點(diǎn) |
傳感器選型方案
傳感器 型號(hào) | 垂直 測(cè)量范圍 | 物鏡測(cè)量距離 mm | 分辨率 | 線性度 （%+/-量程） | 技術(shù) 原理 |
S3/011 | 110μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S11/03 | 300μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S16/2.5 | 2.5mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S29/10 | 10mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
S20/20 | 20mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技術(shù) |
L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | 三角測(cè)量技術(shù) |
L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | 三角測(cè)量技術(shù) |
L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | 三角測(cè)量技術(shù) |
L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | 三角測(cè)量技術(shù) |
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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