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儀器簡(jiǎn)介：NTEGRA平臺(tái)是一個(gè)創(chuàng)新性的技術(shù)概念,，在擁有所有SPM技術(shù)：原子力/磁力/靜電力/表面電勢(shì)/導(dǎo)電原子/掃描電容/壓電力/納米刻蝕等功能的同時(shí),，還能配備近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡/共聚焦拉曼/外加磁場(chǎng)/超聲原子力/納米壓痕等功能！,。Prima則是這個(gè)平臺(tái)中的基礎(chǔ)SPM,，可以在此基礎(chǔ)上根據(jù)科 研需求提供多達(dá)40 中SPM 功能，其中的每種功能都有一套在其專業(yè)領(lǐng)域有著杰出表現(xiàn)的獨(dú)特配置,?？蛇x擇配備獨(dú)特的雙掃描結(jié)構(gòu)可以將掃描范圍擴(kuò)展到200x200um。

技術(shù)參數(shù)：在大氣環(huán)境下：掃描隧道顯微鏡/ 原子力顯微鏡(接觸 +半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調(diào)制/力譜線/粘附力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯 微鏡/掃描電容顯微鏡/開(kāi)爾文探針顯微鏡/擴(kuò)展電阻成像/納米壓痕/刻蝕: 原子力顯微鏡(電壓+力)/壓電力模式/超聲原子力/外加磁場(chǎng)/溫度控制/氣氛控制等功能,。

在液體環(huán)境下：原子力顯微鏡(接觸+半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調(diào)制/粘附力成像/力譜/刻蝕:

測(cè)量頭部：AFM和SPM可選配液相模式和納米壓痕測(cè)量頭

掃描方式：樣品掃描,、針尖掃描、雙掃描

樣品尺寸：樣品掃描：直徑40mm,，厚度15mm,。針尖掃描：樣品無(wú)限制

XY樣品定位裝置：移動(dòng)范圍5×5um，精度5um

掃描范圍：90×90×9um（帶傳感器/閉環(huán)控制）,，可選配低電壓模式實(shí)現(xiàn)原子級(jí)分辨

XY方向非線性度：≤0.5%（帶傳感器/閉環(huán)控制）

Z方向噪音水平（帶寬1000Hz時(shí)的RMS值）：閉環(huán)控制掃描器（典型值0.04nm,，不超過(guò)0.06nm）

光學(xué)顯微系統(tǒng)：配備高數(shù)值孔徑物鏡后,，分辨率可由3um提升至1um

樣品溫度控制：室溫~300℃

主要特點(diǎn)：

Ntegra Prima 是一個(gè)基本的SPM 系統(tǒng),，在這平臺(tái)上可以根據(jù)科研需要提供40 種SPM 功能。

Ntegra Solaris 是一款近場(chǎng)光顯微鏡,，能夠提供所有近場(chǎng)探測(cè)模式,，從而突破衍射極限。

Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 從而實(shí)現(xiàn)針尖增強(qiáng)（TERS）