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儀器簡介：

NTEGRA Spectra

是一款獨特的集成了掃描探針顯微鏡、激光共聚焦/熒光顯微鏡和拉曼光譜儀的系統(tǒng),。其強大的TERS效應(yīng),，可在得到拉曼光譜的同時獲得高達50nm的成像分辨率。

只有NTEGRA Spectra能在軟件,、硬件等技術(shù)方面為集成Renishaw的拉曼光譜系統(tǒng)提供**的方案,，以便用戶能在分子水平上用不同的技術(shù)手段來分析、研究樣品,。這樣的集成,，能讓用戶極大的提高工作效率，將更多的時間用于數(shù)據(jù)采集和分析,，而無需為繁瑣的儀器操作而苦惱,。所以，可以負(fù)責(zé)任的說：真正的集成是遠遠優(yōu)于簡單的組合的,。

激光共聚焦顯微鏡/拉曼光譜儀系統(tǒng)

NTEGRA Spectra 系統(tǒng)集成了激光掃描共焦光譜儀,、光學(xué)顯微鏡和常規(guī)的掃描探針顯微鏡。該系統(tǒng)能用于發(fā)光光譜和拉曼散射的三維成像,、所有的SPM功能,，包括納米壓痕、納米加工和納米刻蝕等,。.

掃描探針顯微鏡

除了光學(xué)檢測外,，NTEGRA Spectra還可使用SPM的方法來研究樣品，諸如：AFM,、MFM,、STM、SNOM,、力譜等等,。這樣獨特的集成了光學(xué)方法和掃描探針方法合二為一的系統(tǒng)，為用戶完成復(fù)雜的實驗變成可能,，用戶可從實驗中得到樣品的光學(xué)分布信息,、化學(xué)性質(zhì)、力學(xué)性質(zhì),、電學(xué)性質(zhì)和磁學(xué)性質(zhì)等,。

用超越激光衍射極限的系統(tǒng)來研究樣品

NTEGRA Spectra 在檢測樣品時，能提供超越激光光學(xué)衍射的光學(xué)分辨率,。近場光學(xué)顯微鏡和TERS系統(tǒng)能讓用戶得到光學(xué)性質(zhì)分布圖（激光傳輸,、散射和偏振等）的同時獲得拉曼散射光譜和高達50nm的XY方向分辨率。

技術(shù)參數(shù)：

共聚焦顯微鏡光學(xué)模塊 正置或倒置光學(xué)顯微鏡觀測系統(tǒng)

可見光譜測量 (390-800nm)

激發(fā)光路中配置手動式格蘭-泰勒起偏棱鏡 390-1000nm

檢測光路中配置電動式格蘭-泰勒檢偏棱鏡 390-1000nm

三軸定位電動式1/2波片

光束分離器

可選配倏逝激發(fā)系統(tǒng)（用于TERS）

光學(xué)分辨率 XY： 200nm

Z：500nm

掃描模塊 **樣品質(zhì)量：1000g

**掃描范圍：100x100x25 um

XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)

XY方向非線性度：0.03 % （典型值）

Z方向噪音水平：<0.2 nm （典型值）

XY方向噪音水平：<0.5 nm（典型值）

共聚焦針孔 直徑0~1.5mm可調(diào),，步進0.5 um

注：無論樣品是否透明,，都可用我們的共聚焦顯微鏡在空氣或液體環(huán)境中對其進行研究。

拉曼光譜儀

光譜儀焦長 520 mm

激光器波長* 441,， 488,， 514， 532,， 633 nm

雜散光抑制 10^-5,，（20nm 用632nm激光器 ）

平場面積 28 mm x 10 mm

光譜分辨率 0.025 nm (1200 l/mm光柵**)

端口 1輸入,，2輸出

光柵座 4孔轉(zhuǎn)盤（3 個光柵+“直接成像”模式用的反射鏡）

探測器 CCD：光譜響應(yīng)范圍：200–1000 nm，電冷裝置冷卻至–80°C,，500nm時95% 量子效率

用于光子計數(shù)的APD***：光譜相應(yīng)范圍：400–1000 nm,，暗計數(shù)=25/秒，提供高達1GHz計算速度的PCI 卡,。 * 標(biāo)準(zhǔn)配置中包括一套488 nm激光器,，其他波長激光器可選配

** 可選配其他光柵。小階梯光柵具有**的光譜分辨率

***可選用PMT

掃描近場光學(xué)顯微鏡

功能模式：剪切力成像/SNOM反射模式,，透射模式,，熒光模式（選配）

激光模塊 耦合裝置：X-Y-Z 定位器，定位精度1 um

V型槽光纖固定器

裝配40x物鏡

光纖傳輸系統(tǒng) KineFlex^TM

光束衰減器：可配多種減光鏡

剪切力成像 樣品尺寸：**直徑100mm,，**厚度15mm

XY二維樣品移動平臺：樣品定位范圍5x5mm,，樣品定位精度5um

XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng)

樣品掃描式 針尖掃描式

掃描范圍 100x100x25 um 100x100x7 um

非線性度 XY 0.03 %（典型值） <0.15%

噪音水平 Z <0.2 nm（典型值） 0.04nm（典型值），<=0.06nm

噪音水平 XY <0.5 nm（典型值） 0.2 nm（典型值）,，<=0.3 nm

石英音叉基頻 190 kHz

光纖孔徑 <100nm

可同時采集的數(shù)據(jù)通道 反射模式

透射模式/熒光模式

PMT 光譜響應(yīng)范圍：185-850 nm

靈敏度：3x10¹⁰,，420 nm時

隔振系統(tǒng) 主動式：0.7-1000 Hz

被動式：大于1 kHz

掃描探針顯微鏡

功能模式：AFM（接觸+半接觸+非接觸）/側(cè)向力模式/相位成像模式/力調(diào)制模式/粘滯力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡/掃描電容顯微鏡/掃描開爾文探針顯微鏡/擴展電阻成像模式/刻蝕：AFM（力和電流）

樣品尺寸* **直徑100mm，**厚度15mm

掃描范圍 50x50x5 um

閉環(huán)控制系統(tǒng)** XYZ三維全量程閉環(huán)控制掃描系統(tǒng),，采用電容傳感器

非線性度 XY <0.15%

噪音水平 Z 0.06 nm（典型值）,，<=0.07nm

噪音水平 XY 0.1 nm（典型值），<=0.2 nm (XY 50 um)

*掃描頭部可單獨使用,，此時對樣品尺寸和重量無限制

**內(nèi)置的電容傳感器擁有極低的噪音水平,，即使降到50x50 nm的區(qū)域也可以用閉環(huán)控制來掃描

主要特點：

AFM探針和激光光斑**的同步協(xié)調(diào)。AFM探針可在納米級的精度上定位于激光光斑中—在TERS中,，這是必要的條件,。在激光掃描和樣品掃描的6個軸中，全部采用全量程閉環(huán)控制系統(tǒng),。

高數(shù)值孔徑的光學(xué)物鏡和SPM系統(tǒng)緊密的集成在一起,，讓系統(tǒng)的光學(xué)穩(wěn)定性達到****的高度—為長程和微弱的信號而設(shè)計。

反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像,。

電冷至-70°C的CCD,，用于光譜探測和成像。

也可選用APD來進行光子計數(shù),。

在激發(fā)通道和檢測通道中,，用戶可靈活方便的配置偏光光路。

多功能的集成軟件控制系統(tǒng),，所有的系統(tǒng)模塊包括AFM,、光路系統(tǒng)和機械系統(tǒng)都由統(tǒng)一的軟件來控制。激光器、光柵,、針孔等等,，都可由軟件來切換或調(diào)節(jié)。

NT-MDT可根據(jù)用戶需求定制不同使用需求的TERS系統(tǒng),。