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作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測,。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在,。Park NX20，這款全球*精密的大型樣品原子力顯微鏡,，憑借著出色的數(shù)據(jù)準確性,，在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。
Park NX20具備****的功能,，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因,，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。****的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù),，讓您能夠更加專注于工作,。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針尖端更鋒利,、更耐用,，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和**。,。
ParkNX20擁有業(yè)界*為便捷的設(shè)計和自動界面,，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者,。借助這一系列特點,，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告,。
樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量
NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面,，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所必備的,。
對樣品和基片進行表面光潔度測量
表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應用之一,，能夠帶來精確的失效分析和質(zhì)量保證。
QuickStep SCM
*快的掃描式電容顯微鏡
PinPoint AFM
無摩擦導電原子力顯微鏡
沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器,，噪音水平低于0.02 nm,，從而達到非常精準樣品形貌成像,，沒有邊沿過沖無需校準。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時也為您節(jié)省了寶貴的時間,。
使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量,。
在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm,。
沒有前沿或后沿過沖現(xiàn)象
終身無需校準,，減少設(shè)備維護成本
行業(yè)**的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下,。
掃描成像
抬起懸臂
移動驅(qū)動平臺到設(shè)定位置
進針
重復掃描
該自動化功能可大大減少掃描過程中人工移動樣品所需時間,，從而縮短測試時間，提高生產(chǎn)率,。
您只需滑動嵌入燕尾導軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭,。該設(shè)計可將鏡頭自動鎖定至預對準的位置，同時與復位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接,。借助于相關(guān)性低的SLD,，顯微鏡可精確成像并可準確測定力-距離曲線。
只需將可選模塊插入擴展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式,。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設(shè)計,，其生產(chǎn)線設(shè)備兼容性得到大大提高
所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。 該控制器是個全數(shù)字,，24位高速控制器,，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設(shè)計和高速處理單元,，該控制器也是納米成像和精確電壓電流測量的**選擇,。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方案,，是高級研究員的**選擇,。
XY和Z軸檢測器的24位信號分辨率
XY軸（50 μm）的分辨率為0.003nm
Z軸（15 μm ）的分辨率為0.001 μm
嵌入式數(shù)字信號處理功能
三通道數(shù)碼鎖相放大器
彈簧系數(shù)校準（熱方法）
數(shù)據(jù)Q控制
集成式信號端口
專用可編程信號輸入/輸出端口
7個輸入端口和3個輸出端口
暫無數(shù)據(jù)！
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