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WAFER AOI光學(xué)檢驗(yàn)系統(tǒng)
進(jìn)料的wafer,，經(jīng)過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查,，進(jìn)行檢查和分選。操作員不接觸wafer,，避免了污染和損傷wafer,。
性能描述：
標(biāo)準(zhǔn)配備1個(gè)Load port，單臂翻轉(zhuǎn)Robot,，Pre-aligner,，目檢臺和顯微鏡。
兼容8寸和12寸wafer
標(biāo)準(zhǔn)load port可以對應(yīng)FOUP,，AutoFOSB自動開蓋,，具備mapping功能
高精度運(yùn)動機(jī)構(gòu)，低噪音,，低塵,，無需供油。
觸摸屏操作,，界面友好,。
對應(yīng)GEM300，采用SEMI標(biāo)準(zhǔn)軟件
晶圓光學(xué)檢測機(jī)：
暫無數(shù)據(jù),！
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