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WAFER AOI光學(xué)檢驗系統(tǒng)

進料的wafer,，經(jīng)過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查,，進行檢查和分選。操作員不接觸wafer,，避免了污染和損傷wafer,。

性能描述：

• 標準配備1個Load port，單臂翻轉(zhuǎn)Robot,，Pre-aligner,，目檢臺和顯微鏡,。

• 兼容8寸和12寸wafer

• 標準load port可以對應(yīng)FOUP，AutoFOSB自動開蓋,，具備mapping功能

• 高精度運動機構(gòu),，低噪音，低塵,，無需供油,。

• 觸摸屏操作，界面友好,。

• 對應(yīng)GEM300,，采用SEMI標準軟件

晶圓光學(xué)檢測機：