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SDCOM臺(tái)式小晶體樣品定向儀
SDCOM臺(tái)式小晶體樣品定向儀

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德國(guó)

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弗萊貝格儀器(上海)有限公司

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SDCOM的特點(diǎn)
  • 能夠測(cè)量小至1mm的晶體到或更大的樣品

  • 各種樣品架及輸送夾具,,用于線鋸,、拋光等

  • 側(cè)晶方向標(biāo)記選項(xiàng)

  • 無(wú)水冷卻

  • **精度:0.01°(視晶體質(zhì)量而定)

  • 確定單晶的完全晶格取向

  • 使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測(cè)量

  • 氣冷式X射線管,無(wú)需水冷

  • 適合于研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制

  • 手動(dòng)操作(沒(méi)有自動(dòng)化選項(xiàng))

    晶體的方向是由反射位置決定 適合多種材料

    可測(cè)量材料的例子

    • 立方/任意未知方向:Si,, Ge,, GaAs, GaP,, InP

    • 立方/特殊取向:Ag,, Au, Ni,, Pt,, GaSb, InAs,, InSb,, AlSb, ZnTe,, CdTe,, SiC3C, PbS,, PbTe,, SnTe, MgO,, LiF,, MgAl2O4, SrTiO3,, LaTiO3

    • 正方:MgF2,, TiO2, SrLaAlO4

    • 六方/三角:SiC 2H,, 4H,, 6H,, 15R, GaN,, ZnO,, LiNbO3, SiO2(石英),,Al2O3(藍(lán)寶石),,GaPO4, La3Ga5SiO14

    • 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

    • 可根據(jù)客戶(hù)的要求進(jìn)一步選料

    SDCOM的應(yīng)用

    平面方向的標(biāo)記和測(cè)量

    Omega掃描能夠在一次測(cè)量中確定完整的晶體方位,。因此,,平面方向可以直接識(shí)別。這是一個(gè)有用的功能,,以標(biāo)記在平面方向或檢查方向的單位或缺口,。

    在晶圓片的注入和光刻過(guò)程中,平面或凹槽作為定位標(biāo)記,。經(jīng)過(guò)加工后,,晶圓片攜帶數(shù)百個(gè)芯片,需要通過(guò)切割將其分離,。

    晶片必須正確地對(duì)準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面,。因此,檢查平臺(tái)或缺口的位置是必要的,。為了確定平面或缺口的位置,,必須測(cè)量平面內(nèi)的部件。

    該儀器通過(guò)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán),,可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶(hù)指定的特定位置,。這簡(jiǎn)化了將標(biāo)記應(yīng)用到特定平面方向的任務(wù),例如必須定義平面方向時(shí),。

    對(duì)于高吞吐量應(yīng)用程序,,可提供自動(dòng)測(cè)量解決方案。

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性?xún)r(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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