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特點

Omega/Theta X射線衍射儀是一個全自動的垂直三軸衍射儀,，使用Omega掃描和Theta掃描方法以及搖擺曲線測定各種晶體的方位,。大而寬敞的設計可以容納長達450毫米和30公斤的重量和樣品架。

所有的測量都是自動化的,，可以通過用戶友好的軟件界面進行訪問,。利用Omega掃描，可以在晶體旋轉(5秒)中確定完整的晶格方向,。Theta掃描更加靈活,，但每次掃描只產(chǎn)生一個方向分量。

可以非常精確地確定傾斜角度,，使用Theta掃描到0.001°,。對于所有其他的晶體方向，精度取決于垂直于表面的角差,。

該系統(tǒng)是模塊化的,，并配備了許多不同的擴展用于特殊目的，如形狀或平面的確定,，繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜度是通過光學測量來檢測的,，可以用來校正*終的方向,。

單晶衍射儀

Omega掃描圖（SiC） 渦輪葉片，一個方向組件的映射圖

(Si,， Ge)晶圓,，定向圖 晶格參數(shù)映射圖

• 全自動單晶完全晶格取向測量

• 使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量

• 自動搖擺曲線測量

• 衍射儀的角分辨率：0.1弧秒。

• 樣本大小可達450毫米

• 適合于生產(chǎn)質量控制和研究

用戶友好和成本效益

• 樣品處理方便,，操作方便

• 先進的,，用戶友好的軟件

• 低能耗，低運營成本

模塊化設計和靈活性

• 各種升級選項

• 定制用戶的需求

Omega/Theta X射線衍射儀的應用

具有多種幾何形狀和大小的樣品

單晶的工業(yè)合成從大而重的晶體開始,，到小塊如晶圓或坯,。實驗生長產(chǎn)生微小的圓柱體。

根據(jù)材料和產(chǎn)量的不同,，晶體樣品可以表現(xiàn)出多種尺寸和幾何形狀,。

Omega/Theta X射線衍射儀可以處理大塊鋼錠或鋼球和實驗合成的微小晶體。

非線性光學材料(NLO)：晶體質量和定向

與典型的無機金屬,、半導體和絕緣體相比,，NLO材料具有更復雜的晶體結構和更低的對稱性。這種結構創(chuàng)造了一個高度各向異性的環(huán)境,，

光通過晶體,，并導致他們的特殊性質,。這些晶體通常被切割成尺寸在毫米范圍內(nèi)的小棒，作為頻率倍增器和光學參量振蕩器的有源元件,。

對這種小晶體的表面質量測定常?？梢越沂揪w內(nèi)部的結構缺陷和裂紋。

這些材料的大單位晶胞是Omega掃描方法的一個挑戰(zhàn),。我們能夠確定許多NLO材料,，如LBO， BBO和TeO2的Omega掃描參數(shù)的*重要的方向,。

對Omega/Theta的設計進行了一些特殊的修改,，以涵蓋幾種不同材料的NLO能力。

平面方向的標記和測量

Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體方位,。因此,，平面方向可以直接識別。這是一個有用的功能,，以標記在平面方向或檢查方向的單位或缺口,。

在晶圓片的注入和光刻過程中，平面或凹槽作為定位標記,。經(jīng)過加工后,，晶圓片攜帶數(shù)百個芯片，需要通過切割將其分離,。

晶片必須正確地對準晶圓片上易于切割的晶格面,。因此，檢查平臺或缺口的位置是必要的,。為了確定平面或缺口的位置,，必須測量平面內(nèi)的部件。

該儀器通過旋轉轉盤,，可以將任何平面方向轉換成用戶指定的特定位置,。這簡化了將標記應用到特定平面方向的任務，例如必須定義平面方向時,。

對于高吞吐量應用程序,，可提供自動測量解決方案。

搖擺曲線:晶體表面評價

搖擺曲線測量對晶格內(nèi)的缺陷和應變場很敏感,。將這種技術與映射階段相結合,，可以掃描晶體表面并確定缺陷區(qū)域。在晶格匹配的薄膜中,，

搖擺曲線也可以用來研究層厚,、超晶格周期、應變和成分剖面、晶格失配,、三元結構和弛豫,。

晶圓片表面必須達到非常高的清潔和均勻性標準。制造商正努力使晶體的位錯和缺陷盡可能少,。特別是在碳化硅方面,，消除錯位為這種材料提供了新的應用領域。

通過裝備一個具有映射階段和雙晶體的Omega/Theta衍射儀,，可以測量晶體表面某一反射的搖擺曲線映射,。圖像顯示的結果，這種映射的碳化硅晶圓,。

晶圓片的內(nèi)部呈現(xiàn)出兩到三倍于搖擺曲線的FWHM,。這可能與表面劃痕或生長缺陷有關。