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全自動8吋減薄機(jī)品牌
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設(shè)備特點(diǎn)
采用兩個(gè)主軸,，三個(gè)工作臺的全自動研磨機(jī)，4/5/6/8吋晶圓加工可兼容
Si,、SiC等研磨材料均能滿足
為實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)研磨加工,，主機(jī)搭載高功率輸出、高剛性,、低振動空氣電主軸,；工作臺主軸亦搭載高剛性、低振動,、低熱膨脹,、回轉(zhuǎn)精度高的的空氣軸承
配置接觸式測厚模塊，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)系統(tǒng)控制
搭配自主研制的250mm磨輪,，有效去除晶圓磨削應(yīng)力,，減少表面損傷，保證芯片強(qiáng)度
暫無數(shù)據(jù),！
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