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影響
當氧存在于晶體硅中時,，在后續(xù)的熱處理過程會使氧發(fā)生偏聚和沉淀,，形成氧沉淀、氧施主等缺陷。
氮元素在硅材料中濃度超標時會產生Si3N4顆粒,，導致細晶的產生,，進而影響太陽能電池的性能。
GDMS
氣體元素
GDMS靈敏度非常高,，采用液氮制冷的方式,，把離子源維持在低溫環(huán)境中，可以有效降低輝光放電室中的干擾分子,，同時提高輝光放電的穩(wěn)定性,，降低熱效應所造成的基體效應，GDMS擁有高真空度,，可達1.0E-9mbar及以下,，氣體背景非常低，氣體元素檢出限可以達到10個 ppb級別,。
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