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MX-SLG 半導體晶圓激光開槽設備
MX-SLG 半導體晶圓激光開槽設備

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型號

MX-SLG 半導體晶圓激光開槽設備

品牌

蘇州邁為

產地

江蘇

樣本

暫無
蘇州邁為科技股份有限公司

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該設備使用激光在晶圓表面刻線開槽,,以人性化的操作設計提升用戶體驗,、智能化的軟件系統(tǒng)提高生產效率。

設備優(yōu)勢

  • 01

    配備高精密直線電機,,高速度X-Y運動平臺

  • 02

    采用特殊定制的激光器加工,,切割槽型品質高,,熱影響小

  • 03

    軟件操作簡單,設備維護便捷

  • 04

    單焦點實現(xiàn)寬光,、細光自由組合的切割模式,,加工精度高

  • 05

    采用背光切割載臺,邊緣識別效果更好


基本信息

  • 1. 適用產品:Low-K/CMOS等半導體晶圓

  • 2. 適用產品尺寸:200mm-300mm

  • 3. 激光器:紫外納秒或者短脈沖定制激光器

  • 4. 開槽深度:≥10μm

  • 5. 切割速度:0-1000mm/s

  • 6. 加工方式:全自動

  • 7. 適應切割寬度: 30~90μm


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10分

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性價比

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