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晶棒直徑
Φ350~Φ600mm
切割進給速度
5~20mm/min
晶棒材質(zhì)
單晶硅
冷卻水流量
<300L/h
晶棒長度
200~1500mm
壓空用量
<60m3/h
晶棒平行度
≤0.5mm
排水連接孔徑
<Φ100mm
晶棒加工崩邊
≤5mm
設(shè)備外形尺寸(長寬高)
3800×1900×3150mm(長×寬×高)
切割表面質(zhì)量
Ra≤10μm
設(shè)備重量
6t
環(huán)形線直徑
≤0.65mm
設(shè)備功率
380V 7kW
1,、不同規(guī)格硅棒切換靈活,,滿足直徑Φ350-600圓棒切割 ;
2、大裝載量,,硅棒*長切割長度1500mm ;
3,、硅棒支撐是采用粘料的形式以及浮動氣缸輔助支撐,可以保證截斷的崩邊量 ;
4,、**可以50m/s 線速穩(wěn)定切割,,保證切割質(zhì)量 ;
5、環(huán)線切割表面質(zhì)量好 ;
6,、環(huán)線張力由伺服電機控制,,張力大小可調(diào) ;
7、主動輪,、張力輪以及從動輪都有連接氣動潤滑,,即保證內(nèi)部的密封性,又保證了充分的潤滑,大大提高了軸承的使用壽命 ;
8,、設(shè)備床身為焊接件,,焊接后回火加工,剛性好,,性能穩(wěn)定可靠 ;
暫無數(shù)據(jù),!