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遠程微波等離子體系統(tǒng)RPS
遠程微波等離子體系統(tǒng)RPS

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型號

微波等離子模塊-遠程微波等離子體系統(tǒng)RPS

品牌

奮羽電子

產(chǎn)地

四川

樣本

暫無
成都奮羽電子科技有限公司

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遠程微波等離子體系統(tǒng)由微波源,,等離子腔,,自動調(diào)配器,環(huán)形器和導(dǎo)軌組成,,有固態(tài)微波源和磁控管電源兩種版本可選,,是等離子清洗設(shè)備、蝕刻設(shè)備,、去膠設(shè)備和鍍膜設(shè)備的核心部件,,搭載在等離子表面處理設(shè)備上通過把電能轉(zhuǎn)化為微波能將輸入氣體(Ar、O2,、H2,、CF4等)激發(fā)成物質(zhì)的第四種狀態(tài)-等離子狀態(tài)從而對目標物質(zhì)的表面進行污染物和氧化物清洗去膠蝕刻等處理,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造前后道工藝中對晶圓表面的處理,高價值無機材料金屬材料等的表面清潔,。





  項目          固態(tài)源版本

磁控管版本 

輸出功率3kW3kW
輸出頻率2450MHz±25MHz2450MHz±25MHz
頻率誤差±50ppm2%-3%

微波泄露
≤2mW/cm2≤2mW/cm2
供電電壓AC380V±10%AC380V±10%  
供電頻率50Hz±2Hz50Hz±2Hz
進/出水口1/8寶塔接頭DN15
冷卻方式                           水冷(Φ10快插接頭,,水流量≥2.5L/min,進水溫度小于 環(huán)境溫度時,,兩者溫度差≤10°C)                                        水冷(Φ10快插接頭,,水流量≥2.5L/min,進水溫度小于環(huán)境溫度時,,兩者溫度差≤10°C)           
控制接口RS485通信協(xié)議具備本地觸摸屏控制及遠程通訊功能,,MODBUS RTU 標準通訊協(xié)議,9600,N,8,1
工藝氣體Ar,、O2,、H2、CF4等(CF4需配耐刻蝕材料)Ar,、O2,、H2、CF4等(CF4需配耐刻蝕材料)         


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