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設(shè)備名稱:
    硅單晶棒復(fù)檢儀

   設(shè)備用途:
    將YX-6Z型粘接儀粘好的晶棒,，連同料板一同拿到Y(jié)X-6F復(fù)檢儀上進行復(fù)檢,， YX-6F可對粘接好的晶棒(含同一料板粘接2根晶棒)進行X軸的復(fù)檢測量和Y軸上的復(fù)檢測量，測量后的結(jié)果與要求達(dá)到的精度進行對照,，測定結(jié)果可以自動打印出來,，打印內(nèi)容包含晶棒批號、測定時間,、精度數(shù)據(jù)有θ角值,。如有差異，可將晶棒從料板取下,，重新粘接,，大大保證了切割前晶棒的粘接精度，有效防止不良品發(fā)生,，降低不良品率,。