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HMPS-2080SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)品牌
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技術(shù)參數(shù)
| （1） | 型號(hào) | HMPS-2080SP |
| （2） | 電源 | AC380±10% V 三相五線制 50Hz,，額定輸入＜18KVA |
| （3） | 微波輸出功率 | 0.1~8kW 連續(xù)可調(diào) |
| （4） | 功率穩(wěn)定度 | 1%（@穩(wěn)態(tài)） |
| （5） | 紋波 | ≤1% |
| （6） | 微波頻率 | 2450MHz±50MHz |
| （7） | 測溫方式 | 紅外300~1400℃ |
| （8） | 極限真空度 | ≤3.7×10-3Torr |
| （9） | 工作壓力 | 5torr~225torr |
| （10） | 放電區(qū) | Φ≥70mm |
| （11） | 均勻沉積區(qū) | ≥68mm |
| （12） | 工作氣體 | H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可擴(kuò)展為5路 |
| （13） | 氦質(zhì)譜真空漏率 | ≤1.0×10-9Pa·m3/s； |
| （14） | 工作環(huán)境 | 溫度15-40℃,，相對(duì)濕度≤60%,，無腐蝕性氣體 |
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